36氪首发消息显示，半导体晶圆厂自动物料传送系统（AMHS）提供商「弥费科技」已完成数亿元B轮融资。本轮融资由多家知名投资机构联合投资，资金将主要用于技术研发、产品迭代及全球市场拓展。值得关注的是，弥费科技的产品已成功交付全球多家头部晶圆代工厂，标志着国产AMHS系统在国际舞台上迈出了坚实的一步。
AMHS（Automated Material Handling System）是半导体晶圆厂的核心自动化设备，负责在刻蚀、薄膜、光刻等不同工艺机台之间高效、精准地传送晶圆盒（FOUP）。随着芯片制程不断微缩、晶圆尺寸向12英寸（300mm）演进，单片晶圆价值飙升，对传送过程的洁净度、稳定性与效率提出了极致要求。AMHS系统的性能直接影响晶圆厂的产能利用率、良率及运营成本，堪称晶圆厂的“大动脉”。
长期以来，全球AMHS市场被日本大福（Daifuku）和村田机械（Murata Machinery）等少数国际巨头高度垄断，国内晶圆厂在采购、维护及升级方面受制于人，议价能力弱，供应链安全存在隐患。弥费科技的崛起，正逐步改写这一格局。
弥费科技自成立以来，深耕半导体晶圆厂自动化领域，自主研发了涵盖OHT（天车）、Stocker（存储柜）、Cleanway（洁净通道）等在内的全套AMHS解决方案。其系统采用先进的调度算法与高精度运动控制技术，可实现数百台OHT天车协同运作，传送效率达到国际领先水平。针对先进制程对微小颗粒污染的严苛要求，弥费科技在材料、结构及气流设计上进行了多项创新，确保晶圆传送过程中的零污染与零划伤。
本轮数亿元B轮融资的完成，体现了资本市场对弥费科技技术实力与市场前景的高度认可。据悉，弥费科技的产品不仅在国内多家12英寸晶圆厂实现批量交付，更成功打入海外市场，赢得了全球头部晶圆代工厂的订单。这充分证明其AMHS系统在稳定性、可靠性及兼容性方面已通过国际一流客户的严苛验证，具备了与国际巨头同台竞技的能力。
分析人士指出，半导体设备国产化是大势所趋。AMHS作为晶圆厂自动化率的关键推手，其国产化替代空间巨大。弥费科技凭借先发优势、完整的产品矩阵及头部客户背书，有望在未来几年进一步扩大市场份额，推动全球晶圆厂向更高程度的自动化、智能化迈进。
弥费科技表示，将持续加大研发投入，尤其是在人工智能调度、数字孪生等前沿方向探索，让AMHS系统更“聪明”、更柔性地适应不同晶圆厂的个性化需求。公司将进一步扩充产能，加速全球化布局，力争成为全球半导体自动化物料传送领域的领军者。
